TY - ECHAP
AU - Alan Gallagher
CY - Berlin, Heidelberg
DO - 10.1007/3540130136_21
M1 - Topics in Applied Physics
PB - Springer Berlin Heidelberg
PP - Berlin, Heidelberg
PY - 1984
SN - 978-3-540-13013-0 Online ISBN     978-3-540-35671-4/0303-4216
SP - 139
EP - 179
TI - Metal vapor excimers
VL - 30
ER -