TY - JOUR AU - R. Robertson AU - D. Hils AU - Alan Gallagher BT - Chemical Physics Letters DA - Jan-01-1984 DO - 10.1016/0009-2614(84)80328-0 PY - 1984 SP - 397 EP - 404 T2 - Chemical Physics Letters TI - Silane pyrolysis VL - 103 SN - 00092614 ER -